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四英寸/六英寸单晶石墨烯晶圆


通过在铜单晶衬底上外延生长得到单晶石墨烯晶圆,利用界面结合力与热应力工程消除了石墨烯的褶皱与台阶束,使其粗糙度降低至1 nm以下。

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所属分类:

薄膜/晶圆


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四英寸蓝宝石晶圆

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