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四英寸/六英寸单晶石墨烯晶圆
通过在铜单晶衬底上外延生长得到单晶石墨烯晶圆,利用界面结合力与热应力工程消除了石墨烯的褶皱与台阶束,使其粗糙度降低至1 nm以下。
关键词:
所属分类:
薄膜/晶圆
通过在铜单晶衬底上外延生长得到单晶石墨烯晶圆,利用界面结合力与热应力工程消除了石墨烯的褶皱与台阶束,使其粗糙度降低至1 nm以下。相较于普通CVD石墨烯薄膜,单晶石墨烯晶圆具有更高的平整度,媲美机械剥离石墨烯的超强机械性能以及超高的均一性,是石墨烯应用于高性能电子及光电子器件集成的理想材料。

单晶石墨烯晶圆 |
GG-WSSC |
Ф4 inch | 1、衬底:蓝宝石/铜 2、石墨烯覆盖率:>99% 3、粗糙度:<1nm 4、载流子迁移率:>8000 cm2/(Vs) (室温) 5、面电阻:550~600 Ω/sq (SiO2/Si衬底) |
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四英寸蓝宝石晶圆
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