仪器介绍
设备详情
四探针电阻仪
ResMap Four Point Probe
型号：美国CDE ResMap 178
技术参数：
﹡测量尺寸：2~8寸晶圆
﹡测量速度：大于49点/分钟
﹡测量范围：1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡测量重复性：≤±0.02%
﹡精确度：＜0.1%
Model: CDE ResMap 178
Technical Parameters:
﹡Wafer size: 2~8 inch wafer
﹡Measurement speed: 49 points/min or better
﹡Measurement range: 1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡Repeatability: ≤±0.02%
﹡Accuracy: ＜0.1%
地址：北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院中关村翠湖科技园2号楼
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